De halfgeleiderindustrie eist extreem hoge zuiverheid, corrosieweerstand en stabiliteit van componentmaterialen, en keramische structurele componenten voldoen perfect aan deze eisen, waardoor ze een belangrijk onderdeel van halfgeleiderapparatuur zijn.
Tijdens de productie van wafers wordt de interne omgeving van apparatuur vaak blootgesteld aan hoge temperaturen, hoog vacuüm en sterke corrosie. Traditionele metalen materialen corroderen gemakkelijk of laten onzuiverheden vrij, terwijl keramische structurele componenten uitstekende chemische stabiliteit en lage deeltjesafscheidingseigenschappen bezitten, waardoor een schone productieomgeving effectief wordt gegarandeerd.
Veel voorkomende keramische halfgeleideronderdelen zijn onder meer keramische klauwplaten, keramische verwarmers, isolatieringen, mondstukken en geleidingscomponenten. Hiervan maken elektrostatische klauwplaten gebruik van de uitstekende isolerende eigenschappen van keramische materialen om wafers te fixeren en vormen ze een van de kerncomponenten van halfgeleiderapparatuur.
Naarmate chipproductieprocessen zich naar hogere niveaus blijven ontwikkelen, worden de precisie-eisen voor apparatuur steeds strenger. Geavanceerde keramische materialen zullen, met hun dimensionele stabiliteit en weerstand tegen plasmacorrosie, een nog belangrijkere rol spelen in de toekomstige halfgeleiderindustrie.